Method for fabricating vacuum-packed silicon angular velocity sensor

진공 밀봉형 실리콘 각속도 센서의 제조방법

Abstract

본 발명은 초소형 정밀기계 가공기술을 이용하여 실리콘 각속도 센서를 제조할 때 진동체를 유리와의 진공접합을 통하여 진공을 유지되게한 상태에서 각속도 센서를 구동시킴과 아울러 각속도에 의한 신호를 검출함으로서 감도를 향상시킬 수 있는 진공 밀봉형 실리콘 각속도 센서의 제조방법에 관한 것으로, 즉, 다결정 실리콘을 구조물로 사용하여 진동체를 제조한 후 밀봉 영역을 사진 식각 방법으로 정의한 유리를 실리콘 기판과 진공중에 접합하여 제조함에 따라, 소자 제조의 수율을 진공중에서 동작할 때 검출감도 및 안정성을 높이게 된 것이다.
PURPOSE: A method for fabricating a vacuum-packed silicon angular velocity sensor is provided to improve the sensitivity by bonding the glass defining a vacuum region with a silicon substrate having a vibrator. CONSTITUTION: An oxide layer(20) and a nitride layer(30) as insulating layers are formed on a silicon substrate(10). The oxide layer(20) having the thickness of 1 micro meter is formed by a wet etch method. The nitride layer(30) having the thickness of 0.3 micro meter grows by a chemical vapor deposition method. A sacrificial layer(40) having the thickness of 1.5 micro meter is grown by a chemical vapor deposition method. The polysilicon for forming a vibrator(50) grows thereon. The polysilicon is etched by using a photo etch method. The vibrator(50) and a driver electrode are formed by removing the sacrificial layer(40). A small-sized angular velocity sensor is formed by boning a glass substrate(60) of a pyrex #7740 with the silicon substrate(10).

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