반도체 매핑장비의 자동티칭 보정장치

Auto teaching compensation apparatus for semiconductor mapping system

Abstract

본 발명은 반도체 매핑장비의 자동티칭 보정장치에 관한 것으로, 본 발명은 레이져 발진기로부터 양쪽으로 발진되어 그 레이져 발진기의 양측에 놓인 웨이퍼 카세트를 통과하면서 각각의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 수납되어 있는지를 감지하도록 각각 수광부를 갖는 복수개의 매핑센서와, 상기 각 매핑센서의 중심에 기준편이 각각 장착됨과 아울러 각 기준편에 의한 차단여부를 통해 그 매핑센서의 위치를 감지하도록 발광부와 수광부가 각각 구비되어 각 매핑센서의 양측에 각각 장착되는 두 개 한 쌍의 포토센서와, 상기 각 포토센서에 의해 감지된 내용에 따라 펄스스텝이 각각 제어되면서 각 매핑센서를 평면상에서 회전시켜 양쪽 매핑센서가 일치되도록 상기한 매핑센서에 각각 장착되는 복수개의 스텝모터를 포함함으로써, 상기 로봇 유니트의 분해 조립시 매핑세넛의 위치가 틀어져 보정할 때에 스텝모터를 이용하여 그 매핑센서의 위치를 자동으로 보정하게 되므로, 이에 필요한 작업시간을 단축함과 아울러 정확한 보정이 이루어지게 할 수 있다.

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