엑스-선 마스크 및 그의 제조 방법

X-ray mask and method of fabricating the same

Abstract

(a) X-선 투과성 멤브레인(12), 및 (b) X-선 투과성 멤브레인(12) 상에 패턴으로 형성된 X-선 흡수체(11)를 포함하며, X-선 흡수체(11)가 다음 그룹들 중 하나를 포함하는 합금으로 구성되는 것을 특징으로 한다: (a) 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru) 및 게르마늄(Ge); (b) 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru) 및 실리콘(Si); (c) 레늄(Re) 및 게르마늄(Ge); 및 (d) 텅스텐(W) 및 게르마늄(Ge). X-선 마스크는 X-선을 흡수하는 높은 능력을 가지며 낮은 응력을 갖는 박막을 제현하는 것이 가능하고 밀도 높은 결정 구조를 가지는 유익한 특징들을 제공한다.

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